🫧"에이씨엠리서치"의 습식 장비 확장: 매출 36% 증가, 메가소닉 세정 캐비테이션, 엔티티 리스트와 마진 하락

독자님들 안녕하세요? 🍎Macultist입니다! 오늘 소개할 기업은 반도체 습식 공정 장비를 만드는 에이씨엠리서치입니다. 이 회사는 2026년 8월 7일 2분기 실적을 발표하면서 매출이 1년 전보다 36% 늘었다고 밝혔고, 그 성장의 밑바탕에는 메가소닉 세정 캐비테이션(초음파로 만든 기포가 커졌다 작아졌다를 반복하다 무너지는 현상)을 다루는 독자적인 세정 기술이 있습니다. 오늘은 이 회사가 내놓은 실적 숫자를 먼저 확인한 뒤, 그 기술이 어떻게 작동하는지와 앞으로 살펴야 할 위험까지 차례로 짚어보겠습니다.

에이씨엠리서치 2026년 2분기 실적: 매출 36% 증가

에이씨엠리서치는 2026년 8월 7일 2026년 2분기(4~6월) 실적을 발표했습니다. 이 분기 매출은 2억 9,292만 달러로 1년 전 2억 1,540만 달러보다 36.0% 늘었습니다. 고객에게 실제로 넘긴 장비 금액인 출하액도 2억 8,150만 달러로 36.4% 증가해 매출과 비슷한 속도로 늘었습니다.

제품군별로 보면 방향이 엇갈립니다. 이 회사의 오랜 주력 제품인 단일 웨이퍼 세정과 준임계 세정(높은 압력과 온도에서 액체와 기체의 경계가 사라지는 상태의 유체를 쓰는 세정 방식) 매출은 1억 3,300만 달러로 1년 전 1억 5,500만 달러보다 오히려 14.5% 줄었습니다. 반면 전기도금(전기로 금속 이온을 웨이퍼 표면에 얇게 입히는 공정)과 퍼니스(웨이퍼를 고온에서 장시간 가열하는 열처리로) 매출은 1억 2,850만 달러로 1년 전 4,800만 달러보다 168.0%나 늘었습니다. 첨단 패키징(칩 여러 개를 하나의 패키지 안에 쌓거나 나란히 붙이는 후공정) 관련 매출도 3,140만 달러로 153.0% 늘었습니다. 세정 한 품목에 기대던 매출 구조가 전기도금과 퍼니스 쪽으로 무게중심을 옮기고 있다는 뜻입니다.

수익성 지표는 엇갈립니다. 매출에서 원가를 뺀 비율인 매출총이익률은 회계 원칙을 그대로 적용하는 GAAP(일반적으로 인정된 회계기준) 기준으로 46.0%를 기록해 1년 전 48.5%보다 2.5%포인트 내려갔습니다. 특별하거나 일회성인 항목을 제외하고 계산하는 조정 기준으로도 매출총이익률은 46.0%로 1년 전 48.7%보다 낮아졌습니다. 반대로 영업이익률은 개선됐습니다. GAAP 기준 영업이익은 4,974만 달러로 영업이익률 17.0%를 기록해 1년 전 14.7%보다 2.3%포인트 올랐고, 조정 기준 영업이익은 5,633만 달러로 영업이익률 19.2%를 기록했습니다. 이는 1년 전 19.3%와 거의 같은 수준입니다. 매출총이익률은 낮아졌는데 영업이익률은 오히려 오른 것은, 판매관리비 등 다른 비용을 매출 증가 속도보다 덜 늘렸기 때문으로 볼 수 있습니다.

순이익 항목에서는 반드시 짚어야 할 부분이 있습니다. 이번 분기 GAAP 기준 순이익은 8,900만 달러로 조정 기준 순이익 4,450만 달러보다 오히려 큽니다. 보통은 조정 기준 순이익이 여러 일회성 비용을 뺀 만큼 GAAP 기준 순이익보다 크게 나오는데, 이번 분기는 방향이 반대입니다. 이유는 회사가 보유한 단기투자 자산의 평가이익 6,959만 달러가 GAAP 기준 순이익에는 들어가고 조정 기준 순이익 계산에서는 빠지기 때문입니다. 이 평가이익은 실제로 현금이 들어온 이익이 아니라 장부상 시가 변동입니다. 그래서 GAAP 기준 희석 주당순이익이 1년 전 0.44달러에서 이번 분기 1.23달러로 뛰었다고 해서 회사의 실제 영업 실력이 그만큼 좋아졌다고 읽으면 안 됩니다. 실제 영업 실력을 보려면 조정 기준 희석 주당순이익인 0.61달러(1년 전 0.55달러)를 기준으로 봐야 합니다. 회사가 보유한 현금과 현금성자산, 제한예금, 단기예금을 모두 합치면 13억 6,000만 달러이고, 부채를 뺀 순현금은 10억 달러입니다.

회사는 이번 발표에서 연간 매출 전망을 상향했습니다. 기존에 제시했던 10억 8,000만~11억 7,500만 달러 범위에서 하단을 끌어올려 11억 2,500만~11억 7,500만 달러로 바꿨습니다. 매출총이익률에 대한 별도 전망치는 내놓지 않았습니다. 경영진은 늘어난 주문 활동이 앞으로 남은 기간에 대한 좋은 시야를 준다고 밝혔습니다. 그렇다면 이 회사가 세정 매출이 줄어드는 와중에도 전기도금과 퍼니스에서 이런 성장을 만들어 낼 수 있었던 기술적인 바탕은 무엇일까요. 다음 소제목에서 짚어 보겠습니다.

메가소닉 세정 캐비테이션이 미세 패턴을 부러뜨리는 이유

반도체 제조 공정 후반부에는 웨이퍼 표면에 남은 아주 작은 입자를 씻어 내는 세정 공정이 있습니다. 안경을 초음파 세척기에 넣고 돌리는 장면을 떠올리면 감이 잡힙니다. 물속에 생긴 미세한 기포가 렌즈 표면의 때를 떼어내 주지만, 세기를 너무 올리거나 너무 오래 돌리면 렌즈에 입힌 얇은 코팅까지 벗겨질 수 있습니다. 반도체 웨이퍼에서는 이 코팅에 해당하는 것이 폭 수십 나노미터(1나노미터는 10억분의 1미터)짜리 트랜지스터의 게이트 선(반도체 소자에서 전류를 켜고 끄는 스위치 역할을 하는 아주 가는 전극)입니다. 입자는 확실히 떼어내야 하지만, 그 힘이 게이트 선을 건드리면 소자가 통째로 망가집니다.

이 힘을 만드는 물리 현상이 메가소닉 세정 캐비테이션입니다. 메가소닉은 수백 킬로헤르츠에서 메가헤르츠대(1초에 수십만에서 수백만 번 진동하는 정도)의 초음파를 뜻하고, 캐비테이션은 액체 속에 생긴 기포가 음파를 따라 커졌다 작아졌다를 반복하다가 격렬하게 무너지는 현상을 말합니다. 세정액에 메가소닉 에너지를 넣으면 액체 안에 아주 작은 기포가 만들어지고, 이 기포가 진동하면서 주변에 국소적인 흐름과 압력을 만듭니다. 그 힘이 웨이퍼 표면에 붙어 있는 입자를 떼어냅니다. 웨이퍼에 남은 입자는 크기가 작을수록 표면에 달라붙는 힘이 상대적으로 세지기 때문에, 단순히 액체를 뿌리는 것만으로는 떨어지지 않고 이런 음향 에너지가 필요합니다.

문제는 기포가 압축될 때마다 내부 기체 온도가 올라간다는 점입니다. 에이씨엠리서치의 중국 상하이 자회사와 상하이화리마이크로일렉트로닉스(중국의 반도체 위탁생산 업체)가 국제 학술지 솔리드 스테이트 페노미나에 공동 발표한 논문에 따르면, 기포가 여러 번 압축된 뒤의 온도는 이전 온도에 한 주기 동안 오른 만큼을 더하고 식은 만큼을 뺀 값으로 쌓여 갑니다. 자전거 펌프를 빠르게 계속 누르면 펌프 몸통이 점점 뜨거워지는 것과 같은 이치입니다. 한 번 누를 때마다 오른 온도가 다음 누르기 전까지 식는 정도보다 크면, 몸통은 식을 틈 없이 계속 뜨거워집니다. 기포 안 기체도 마찬가지로, 한 번 압축될 때 오른 온도가 그다음 팽창 때 식는 정도보다 크면 온도가 계속 쌓입니다. 이 온도가 내파(기포가 안쪽으로 급격히 무너지는 현상) 임계점에 이르면 기포는 수천 도로 격렬하게 붕괴하면서 아주 가늘고 빠른 물줄기인 미세 제트를 쏘아냅니다. 이 미세 제트가 얇은 게이트 선이나 미세 패턴에 부딪히면 구조가 깨지거나 뜯겨 나갑니다.

에이씨엠리서치가 이 문제를 푸는 방식이 TEBO(제때 에너지를 끊어 기포를 식히는 기술이라는 뜻의 영문 표현의 약자)입니다. 이 기술은 기포를 아예 없애지 않습니다. 논문은 기포 온도가 내파 임계점에 닿기 전에 전원 출력을 0와트로 내리는 것이 핵심이라고 밝히고 있습니다. 냄비를 끓이다가 끓어 넘치기 직전에 불을 껐다가 다시 켜는 것과 같은 방식입니다. 입자를 떼어내는 기포의 진동은 살려 두되, 온도가 위험 수위에 닿기 전에 전원을 끊어 식힐 시간을 준 뒤 다시 에너지를 넣습니다. 논문은 출력 30와트, 40와트, 50와트와 세 가지 동작 모드를 조합해 이 방식을 실험했습니다. 28나노미터급 폴리 게이트(다결정 실리콘으로 만든 트랜지스터의 게이트 전극) 구조에서 특정 모드와 50와트 조합은 패턴 손상 없이 입자를 모두 제거했지만, 다른 모드에서는 같은 50와트에서도 게이트 선 하나가 통째로 떨어져 나갔습니다. 실리콘게르마늄(실리콘에 게르마늄을 섞은 반도체 소재) 루프 패턴 실험에서는 잘못된 모드에서 인접한 선 여러 개가 한꺼번에 벗겨지기도 했습니다. 같은 출력에서도 시간을 어떻게 나눠 쓰는지에 따라 결과가 완전히 갈린다는 뜻입니다.

에이씨엠리서치는 또 다른 축의 문제도 함께 풉니다. 트랜지스터를 만드는 웨이퍼는 지름 300밀리미터에 이르는 원판이라, 음파를 만드는 부품인 트랜스듀서(전기 신호를 진동이나 음파로 바꾸는 소자)를 한 곳에 고정해 두면 트랜스듀서에 가까운 부분과 먼 부분이 받는 음향 에너지가 달라집니다. 에이씨엠리서치는 이를 SAPS(공간을 바꿔가며 위상을 어긋나게 준다는 뜻의 영문 표현의 약자)라는 방식으로 해결합니다. 트랜스듀서를 고정하는 대신 움직이거나 기울이면서 동시에 웨이퍼를 회전시켜, 웨이퍼 전면이 같은 양의 음향 에너지를 받도록 만드는 방식입니다. 회사는 이 방식이 선폭 45나노미터부터 10나노미터 이하까지 적용됐고, 그 미세한 영역에서는 액체를 그냥 분사하는 방식으로는 세정 효과가 나지 않는다고 밝히고 있습니다. TEBO 역시 3차원으로 쌓아 올린 구조, 핀펫(트랜지스터의 채널을 지느러미처럼 세운 구조)과 3차원 낸드, 구멍의 깊이가 폭보다 60배나 되는 아주 깊은 비아(층과 층을 잇는 구멍) 구조에 적용되고 있다고 회사는 밝힙니다.

그래서 이 기술의 진짜 병목은 장비의 정밀도가 아니라 상충 관계 자체에 있습니다. 입자를 떼어내는 힘과 패턴을 부수는 힘이 물리적으로 같은 기포 현상에서 나오기 때문에, 출력을 올리면 입자 제거율과 손상률이 함께 올라갑니다. 선폭이 좁아지고 구조가 가늘고 길어질수록, 즉 종횡비(폭 대비 높이의 비율)가 커질수록 구조가 버틸 수 있는 힘의 여유가 줄어들어 쓸 수 있는 출력의 범위 자체가 좁아집니다. 세정 공정은 이미 오래전부터 여러 회사가 자리를 잡고 있는 시장이고, 새 장비는 고객의 실제 양산 라인에서 수율(불량 없이 만들어지는 제품의 비율)로 검증받기 전에는 채택되지 않습니다. 에이씨엠리서치는 기포 자체를 억누르는 대신 시간의 흐름으로 제어하는 방식을 특허로 묶고, 상하이화리의 양산 라인에서 28나노미터 폴리 게이트 손상 데이터를 직접 만들어 국제 학회에 발표했습니다. 이번 분기 실적에서 단일 웨이퍼 세정 매출은 오히려 14.5% 줄고 전기도금과 퍼니스가 168% 늘어난 것도, 세정에서 다져 온 습식 장비 기술력이 다른 습식 공정 쪽으로 넓어지고 있다는 신호로 볼 수 있습니다.

엔티티 리스트와 마진 하락이라는 두 가지 부담

에이씨엠리서치를 실적 숫자만으로 판단하기 전에 짚어야 할 부담이 있습니다. 첫 번째는 규제 리스크입니다. 미국 상무부 산업안보국(수출 통제를 담당하는 미국 정부 기관)은 2024년 12월 2일 자로 에이씨엠리서치의 중국 상하이 자회사와 중국·한국의 운영 자회사를 엔티티 리스트(미국 정부가 수출 통제 대상으로 지정한 기업 명단)에 추가했습니다. 회사는 2024년 12월 11일 입장문에서 모회사인 에이씨엠리서치 본사와 중국 밖에 있는 직접 자회사는 이 명단에 오르지 않았다고 밝혔습니다. 다만 중국 고객 매출이 앞으로 얼마나 영향을 받을지에 대해서는 고객들의 투자 계획에 새 규제가 어떤 영향을 주는지에 따라 달라진다는 원론적인 설명만 내놓았습니다. 구체적으로 매출이 얼마나 줄어들 수 있는지를 회사가 수치로 밝히지 않았기 때문에, 이 부분은 앞으로 분기 실적을 발표할 때마다 계속 확인해야 할 항목입니다.

두 번째는 마진 하락입니다. 앞서 살펴본 것처럼 이번 분기 매출총이익률은 GAAP 기준으로 46.0%를 기록해 1년 전 48.5%보다 2.5%포인트 내려갔고, 조정 기준으로도 48.7%에서 46.0%로 낮아졌습니다. 매출이 36% 늘어나는 동안 원가 부담이 매출보다 더 빠르게 늘었다는 뜻입니다. 더 걱정스러운 부분은 회사가 이번 발표에서 연간 매출 전망은 올렸지만, 매출총이익률에 대한 전망치는 따로 내놓지 않았다는 점입니다. 전기도금과 퍼니스 매출 비중이 커지는 과정에서 이 제품군의 마진 구조가 기존 세정 제품군과 어떻게 다른지, 그리고 이 마진 하락 흐름이 언제 멈출지를 회사 스스로도 아직 구체적으로 제시하지 못하고 있다고 볼 수 있습니다.

세 번째는 이익의 질입니다. 이번 분기 GAAP 기준 순이익 8,900만 달러 가운데 상당 부분은 회사가 보유한 단기투자 자산의 평가이익 6,959만 달러에서 나왔습니다. 이 금액은 실제로 현금이 들어온 영업 이익이 아니라 보유 자산의 시가가 그 시점에 얼마였는지를 회계 장부에 반영한 결과입니다. 시장 상황이 바뀌어 이 자산의 평가가치가 다시 내려가면, 같은 크기의 손실이 다음 분기 GAAP 기준 순이익에 반영될 수 있습니다. 그래서 GAAP 기준 희석 주당순이익이 1년 전 0.44달러에서 이번 분기 1.23달러로 크게 뛰었다는 숫자만 보고 이 회사의 수익성이 세 배 가까이 좋아졌다고 받아들이면 곤란합니다. 실제 영업에서 번 돈에 가까운 지표는 조정 기준 희석 주당순이익인 0.61달러 쪽이고, 이 지표 역시 1년 전 0.55달러보다 소폭 늘어난 수준에 그쳤습니다. 규제, 마진, 이익의 질이라는 세 가지 부담이 이번 분기의 겉으로 드러난 36% 매출 성장 뒤에 함께 자리잡고 있는 셈입니다.

결론

에이씨엠리서치는 세정 매출이 줄어드는 와중에도 전기도금과 퍼니스에서 만든 168%라는 성장으로 전체 매출을 36% 끌어올렸고, 그 밑바탕에는 기포를 시간으로 다스려 미세 패턴을 지키는 세정 기술력이 있었습니다. 동시에 매출총이익률은 뒷걸음질했고, 이번 분기의 화려한 순이익 증가에는 장부상 평가이익이 상당 부분 섞여 있었으며, 중국 자회사를 둘러싼 규제도 아직 끝나지 않은 변수로 남아 있습니다. 기술이 만들어 낸 성장세를 그대로 믿을지, 아니면 마진과 규제라는 숙제가 풀릴 때까지 지켜볼지는 이 글을 읽는 독자님께서 직접 정하시고, 그 판단의 결과 역시 독자님 본인이 책임지셔야 하는 부분이라는 점을 말씀드립니다.