๐งช"์์ต์คํธ๋ก "์ ๊ด์์ ์ฅ๋น ์์ฃผ ๊ธ์ฆ: ์์ฃผ 81% ์ฆ๊ฐ, MOCVD ์ํผํ์ ์๋ฆฌ, ์ ๋ ฅ๋ฐ๋์ฒด ๋ถ์ง
๋ ์๋๋ค ์๋ ํ์ธ์? ๐Macultist์ ๋๋ค!
๋ ์ผ ์ฅ๋น ํ์ฌ ์์ต์คํธ๋ก ์ด 2026๋ 7์ 30์ผ 2๋ถ๊ธฐ ์ค์ ์ ๋ฐํํ์ต๋๋ค. ์ฅ๋น ์์ฃผ๋ 2์ต 1,450๋ง ์ ๋ก๋ก ์ ๋ ๊ฐ์ ๋ถ๊ธฐ๋ณด๋ค 81% ๋์๋๋ฐ, ๋งค์ถ์ 1์ต 1,510๋ง ์ ๋ก๋ก 16% ์ค์์ต๋๋ค. ์ด ํ์ฌ๋ ๊ธฐ์ฒด ์๋ฃ๋ฅผ ๋จ๊ฑฐ์ด ์จ์ดํผ ์์์ ๋ฐ์์์ผ ๊ฒฐ์ ์ ํ ์ธต์ฉ ์๋ MOCVD ์ํผํ์ ์ฅ๋น๋ฅผ ๋ง๋ญ๋๋ค. ์ค๋์ ์ด ํ์ฌ๊ฐ ๋ด๋์ ์ค์ ์ซ์๋ฅผ ๋จผ์ ํ์ธํ ๋ค, ๊ทธ ์ฅ๋น๊ฐ ์ด๋ค ์๋ฆฌ๋ก ์ผํ๋์ง์ ์ํ ์์ธ๊น์ง ์ฐจ๋ก๋ก ์ง์ด ๋ณด๊ฒ ์ต๋๋ค.
๋จผ์ ์ซ์๋ฅผ ์ฝ๋ ๊ธฐ์ค๋ถํฐ ๋ฐํ๊ฒ ์ต๋๋ค. ์ด ๊ธ์ ์ซ์๋ ์์ต์คํธ๋ก ์ด 2026๋ 7์ 30์ผ์ ์ ๋ฝ ๊ณต์๋ง์ผ๋ก ๋ฐฐํฌํ 2๋ถ๊ธฐ์ ์๋ฐ๊ธฐ ๋ณด๋์๋ฃ ์ฌ๋ณธ, ๊ทธ๋ฆฌ๊ณ ๋ฐ๋์ฒด ์ ๋ฌธ ๋งค์ฒด๊ฐ ๊ฐ์ ์ซ์๋ฅผ ๋ค๋ฃฌ 2026๋ 8์ 10์ผ์ ๊ธฐ์ฌ๋ฅผ ๋ง์ถฐ ๋ณธ ๊ฒ์ ๋๋ค. ์ด ํ์ฌ๋ ํ๊ณ์ฐ๋๊ฐ ๋ฌ๋ ฅ ์ฐ๋์ ๊ฐ์์, ํ์ฌ๊ฐ ๋งํ๋ 2๋ถ๊ธฐ๋ 2026๋ 4์๋ถํฐ 6์๊น์ง์ ๋๋ค.
๋งค์ถ๋ถํฐ ๋ณด๊ฒ ์ต๋๋ค. 2๋ถ๊ธฐ ๋งค์ถ์ 1์ต 1,510๋ง ์ ๋ก์ ๋๋ค. ์ ๋ ๊ฐ์ ๋ถ๊ธฐ 1์ต 3,740๋ง ์ ๋ก๋ณด๋ค 16% ์ค์์ต๋๋ค. ์๋ฐ๊ธฐ ์ ์ฒด ๋งค์ถ์ 1์ต 7,450๋ง ์ ๋ก๋ก, ์ ๋ ์๋ฐ๊ธฐ 2์ต 4,990๋ง ์ ๋ก๋ณด๋ค 30% ์ค์์ต๋๋ค. ๊ทธ๋ฌ๋ฏ๋ก ์ด ํ์ฌ์ ์ค์ ์ด ์ข์์ก๋ค๊ณ ๋งํ๋ฉด ์ฌ์ค๊ณผ ๋ค๋ฆ ๋๋ค. ๋งค์ถ์ ์์ง 1๋ ์ ๋ณด๋ค ๋ฎ์ ์ํ์ ๋๋ค.
๊ทธ๋ฐ๋ฐ ์์ฃผ๋ ๋ฐ๋๋ก ์์ง์์ต๋๋ค. ์์ฃผ๋ ๊ณ ๊ฐ์ด ์ฅ๋น๋ฅผ ์ฌ๊ฒ ๋ค๊ณ ๊ณ์ฝํ ๊ธ์ก์ด๊ณ , ๋งค์ถ์ ์ฅ๋น๋ฅผ ๋ง๋ค์ด ๊ณ ๊ฐ์๊ฒ ๋๊ธฐ๊ณ ๋ ๋ค์ ์กํ๋ ๊ธ์ก์ ๋๋ค. ์ฅ๋น ํ์ฌ๋ ์ฃผ๋ฌธ์ ๋ฐ๊ณ ๋ช ๋ฌ ๋ค์ ๋ฌผ๊ฑด์ ๋ณด๋ด๊ธฐ ๋๋ฌธ์, ์์ฃผ๊ฐ ๋จผ์ ๋๊ณ ๋งค์ถ์ด ๋ค๋ฐ๋ผ์ค๋ ์์๋ก ์์ง์ ๋๋ค. ๋น์ ํ๋ฉด ์๋น์์ ์์ฝ ์ฅ๋ถ๋ ์ด๋ฏธ ๊ฐ๋ ์ฐผ๋๋ฐ ์ค๋ ๊ณ์ฐ๋์ ์ฐํ ๊ธ์ก์ ์์ง ์ ์ ์ํ์ ๋น์ทํฉ๋๋ค. 2๋ถ๊ธฐ ์์ฃผ๋ 2์ต 1,450๋ง ์ ๋ก๋ก ์ ๋ ๊ฐ์ ๋ถ๊ธฐ 1์ต 1,850๋ง ์ ๋ก์ ์ฝ 1.8๋ฐฐ, ์ฆ 81% ๋์์ต๋๋ค. ์๋ฐ๊ธฐ ์์ฃผ๋ 3์ต 8,600๋ง ์ ๋ก๋ก 54% ๋์์ต๋๋ค.
์ด๋ ๊ฒ ์์ธ ์ฃผ๋ฌธ ๊ฐ์ด๋ฐ ์์ง ๊ณ ๊ฐ์๊ฒ ๋๊ธฐ์ง ์์ ์ฅ๋น์ ๊ธ์ก์ ์์ฃผ์๊ณ ๋ผ๊ณ ๋ถ๋ฆ ๋๋ค. 6์ 30์ผ ๊ธฐ์ค ์ฅ๋น ์์ฃผ์๊ณ ๋ 4์ต 5,690๋ง ์ ๋ก์ ๋๋ค. ์ ๋ ๊ฐ์ ์์ ์ 2์ต 8,460๋ง ์ ๋ก์ ๋น๊ตํ๋ฉด ์ฝ 60.5% ๋ง์ต๋๋ค. 2025๋ ๋ง์ 2์ต 5,780๋ง ์ ๋ก์ ๋น๊ตํ๋ฉด ์ฝ 1.8๋ฐฐ์ ๋๋ค. ์ฅ๋ถ์ ์์ธ ์ผ๊ฐ์ด ๋ฐ๋ ์ฌ์ด์ ํฌ๊ฒ ๋์๋ค๋ ๋ป์ ๋๋ค.
์์ฃผ์ ๋ด์ฉ๋ ์ค์ํฉ๋๋ค. ๋ณด๋์๋ฃ์ ๋ฐ๋ฅด๋ฉด 2๋ถ๊ธฐ ์ฅ๋น ์์ฃผ์ ์ฝ 75%๊ฐ ๊ด์ ์ ์ฅ๋น์ ๋๋ค. ๊ด์ ์๋ ์ ๊ธฐ ์ ํธ๋ฅผ ๋น์ผ๋ก, ๋น์ ์ ๊ธฐ ์ ํธ๋ก ๋ฐ๊พธ๋ ์์๋ฅผ ๊ฐ๋ฆฌํค๋ฉฐ, ์ธ๊ณต์ง๋ฅ ๋ฐ์ดํฐ์ผํฐ์ ๊ดํต์ ์ฉ ๋ ์ด์ ๊ฐ ์ฌ๊ธฐ์ ๋ค์ด๊ฐ๋๋ค. ๋ฐ๋์ฒด ์ ๋ฌธ ๋งค์ฒด๋ ๊ด์ ์ ์ฅ๋น ์์ฃผ๊ฐ 1๋ถ๊ธฐ ์ฝ 1์ต 1,800๋ง ์ ๋ก์์ 2๋ถ๊ธฐ ์ฝ 1์ต 6,000๋ง ์ ๋ก๋ก ๋์๋ค๊ณ ์ ํ์ต๋๋ค. ํ์ฌ๋ ๋ํ ๋ ์ด์ ์ฅ๋น์ ์ถํ๊ฐ 2026๋ 3๋ถ๊ธฐ๋ถํฐ ์์ํด ์ด๋ฒ ํ๊ณ์ฐ๋ ์ดํ๊น์ง ์ด์ด์ง ๊ฒ์ผ๋ก ๋ด๋ค๋ดค์ต๋๋ค.
์ด์ต์ ๋ณด๊ฒ ์ต๋๋ค. 2๋ถ๊ธฐ ์์ ์ด์ต์ 1,470๋ง ์ ๋ก๋ก ๋ง์ง์ด 13%์ ๋๋ค. ์ ๋ ๊ฐ์ ๋ถ๊ธฐ์ 2,360๋ง ์ ๋ก, ๋ง์ง 17%์ ๋น๊ตํ๋ฉด 38% ์ค์์ต๋๋ค. ๋งค์ถ์ด์ด์ต๋ฅ (๋งค์ถ์์ ์ฌ๋ฃ๋น์ ์ ์กฐ ์๊ฐ๋ฅผ ๋บ ์ด์ต์ด ๋งค์ถ์์ ์ฐจ์งํ๋ ๋น์จ)์ 41%๋ก ์ ๋ ๊ฐ์ ๋ถ๊ธฐ์ ๋๊ฐ์์ต๋๋ค. ์๋ฐ๊ธฐ ์์ ์ด์ต์ 760๋ง ์ ๋ก ์ ์๋ก ๋ง์ง์ด ๋ง์ด๋์ค 4%์ ๋๋ค. ์ ๋ ์๋ฐ๊ธฐ์๋ 2,690๋ง ์ ๋ก ํ์์์ต๋๋ค. ๋ฐ๋์ฒด ์ ๋ฌธ ๋งค์ฒด์ ๋ฐ๋ฅด๋ฉด 1๋ถ๊ธฐ ์์ ์ด์ต์ด 2,230๋ง ์ ๋ก ์ ์์์ผ๋ฏ๋ก, 2๋ถ๊ธฐ์ ํ์๋ก ๋์์ ๊ฒ์ด ์ฌํด ํ๋ฆ์์ ๋์ ๋๋ ๋๋ชฉ์ ๋๋ค. ์๋ฐ๊ธฐ ๋งค์ถ์ด์ด์ต์๋ ์ธ๋ ฅ ๊ฐ์ถ ๋น์ฉ์ด ์ผํ์ฑ์ผ๋ก ๋ค์ด๊ฐ๋ค๊ณ ๋ณด๋์๋ฃ๊ฐ ๋ฐํ์ต๋๋ค.
์์ด์ต์ 2๋ถ๊ธฐ 1,910๋ง ์ ๋ก๋ก ์ ๋ ๋ณด๋ค 1% ์ค์๊ณ , ์ฃผ๋น ์์ด์ต์ 0.17์ ๋ก์์ต๋๋ค. ๋ค๋ง ์ด ์์ด์ต์๋ ์ด์ฐ๋ฒ์ธ์ธ ์์ต(์์ผ๋ก ๋ผ ์ธ๊ธ์ด ์ค์ด๋๋ ํจ๊ณผ๋ฅผ ์ฅ๋ถ์ ์ด์ต์ผ๋ก ์ก์ ๊ฒ)์ด ํฌํจ๋์ด ์์ต๋๋ค. ์์ ํ๋๋ง์ผ๋ก ๋์จ ์ด์ต์ด ์๋๋ผ๋ ๋ป์ด๋ฏ๋ก, ์์ ์ด์ต๊ณผ ๋ฐ๋ก ๋ผ์ด์ ์ฝ์ด์ผ ํฉ๋๋ค. ์์ฌํ๊ธํ๋ฆ(์์ ์ผ๋ก ๋ฒ ํ๊ธ์์ ์ค๋น ํฌ์์ ์ด ๋์ ๋นผ๊ณ ๋จ์ ํ๊ธ)์ 2๋ถ๊ธฐ 1์ต 1,360๋ง ์ ๋ก๋ก ์ ๋ 4,130๋ง ์ ๋ก๋ณด๋ค 175% ๋์์ต๋๋ค.
๊ฐ์ด๋์ค(ํ์ฌ๊ฐ ์ค์ค๋ก ๋ด๋๋ ์์ผ๋ก์ ์ค์ ๋ชฉํ)๋ ์ ์ง๋์์ต๋๋ค. ํ์ฌ๋ 4์ 14์ผ์ ์ฌ๋ฆฐ ๋ชฉํ๋ฅผ ๊ทธ๋๋ก ๋์์ต๋๋ค. 2026๋ ์ฐ๊ฐ ๋งค์ถ์ 5์ต 6,000๋ง ์ ๋ก์์ ์์๋ 3,000๋ง ์ ๋ก, ๋งค์ถ์ด์ด์ต๋ฅ ์ ์ฝ 42%, ์์ ์ด์ต ๋ง์ง์ 17%์์ 20%์ ๋๋ค. 3๋ถ๊ธฐ ๋งค์ถ์ 1์ต 8,000๋ง ์ ๋ก์์ ์์๋ 2,000๋ง ์ ๋ก๋ก ์ ์ํ์ต๋๋ค. ์ด๋ฒ ๋ฐํ์์ ๋ชฉํ๋ฅผ ๋ ์ฌ๋ฆฐ ๊ฒ์ ์๋๊ณ , 4์์ ์ฌ๋ฆฐ ๋ชฉํ๋ฅผ ์งํจ ๊ฒ์ ๋๋ค. ์๋ฐ๊ธฐ ๋งค์ถ์ด 1์ต 7,450๋ง ์ ๋ก์์ผ๋ ์ฐ๊ฐ ๋ชฉํ๋ฅผ ์ฑ์ฐ๋ ค๋ฉด ํ๋ฐ๊ธฐ์ ์ฝ 3์ต 8,500๋ง ์ ๋ก๋ฅผ ํ์์ผ ํฉ๋๋ค. ๊ทธ๋ ๋ค๋ฉด ์ฃผ๋ฌธ์ด ์ด๋ ๊ฒ ๋ชฐ๋ฆฐ ๊ด์ ์ ์ฅ๋น๋ ์ค์ ๋ก ๋ฌด์์ ํ๋ ๊ธฐ๊ณ์ผ๊น์. ๋ค์ ์์ ๋ชฉ์์ ๊ทธ ์๋ฆฌ๋ฅผ ์ง์ด ๋ณด๊ฒ ์ต๋๋ค.
์ธ๊ณต์ง๋ฅ ๋ฐ์ดํฐ์ผํฐ์์ ์๋ฒ๋ค์ด ์ฃผ๊ณ ๋ฐ๋ ๋ฐ์ดํฐ๋ ๊ดํต์ ๋ชจ๋ ์์ ๋ ์ด์ ๊ฐ ๋น ์ ํธ๋ก ๋ฐ๊ฟ ์ค์ด ๋๋ฆ ๋๋ค. ์ด ๋ ์ด์ ์นฉ์ ์์ ์์ฃผ ์์ ์ธต์ ์์ญ ๊ฒน ์์ ์ฌ๋ฆฐ ๊ตฌ์กฐ์ ๋๋ค. ์ผ์ดํฌ์ ๋น์ ํ๋ฉด ์์ ์คํ์ง๋ฅผ ์์ญ ์ฅ ๊ฒน์น ์ผ์ดํฌ์ ๊ฐ์ต๋๋ค. ๊ทธ๋ฆฌ๊ณ MOCVD๋ ๋จ๊ฑฐ์ด ์ค๋ธ ์์์ ์ฌ๋ฃ ๊ธฐ์ฒด๋ฅผ ๋ฟ๋ ค ๊ทธ ์ธต์ ํ ๊ฒน์ฉ ๊ตฝ๋ ์ฅ๋น์ ๋๋ค. ์ค๋ธ ์์ ์ด๋ ์๋ฆฌ์์๋ ํ ๊ฒน์ ๋๊ป์ ์ฌ๋ฃ ๋น์จ์ด ๊ฐ์์ผ, ๊ฐ์ ํ์์ ๋์จ ๋ชจ๋ ์กฐ๊ฐ์ด ๊ฐ์ ๋ง์ ๋ ๋๋ค. ๋ ์ด์ ์์ ๊ทธ ๋ง์ ๋น์ ์, ๊ณง ํ์ฅ์ ๋๋ค.
์ด๋ฆ๋ถํฐ ํ๊ฒ ์ต๋๋ค. MOCVD๋ ์ ๊ธฐ๊ธ์ ํํ๊ธฐ์์ฆ์ฐฉ์ ๋๋ค. ๊ธ์ ์์๋ฅผ ํ์ ์ ๊ธฐ ๋ถ์๋ฅผ ๊ธฐ์ฒด ์ํ๋ก ํ๋ ค ๋ณด๋ด์, ํํ ๋ฐ์์ผ๋ก ์จ์ดํผ ์์ ์์ ๋ง์ ์ ํ๋ ๋ฐฉ๋ฒ์ด๋ผ๋ ๋ป์ ๋๋ค. ์ํผํ์(๋ฐํ์ด ๋๋ ๊ฒฐ์ ์์, ๋ฐํ๊ณผ ๊ฐ์ ์์ ๋ฐฐ์ด์ ๊ทธ๋๋ก ์ด์ด์ ์ ๊ฒฐ์ ์ธต์ ํค์ฐ๋ ์ผ)๋ผ๋ ๋ง์ด ๋ถ๋ ๊ฒ์ ์์ด๋ ์ธต์ด ์ ๋ฉ๋๋ก ๊ตณ๋ ๊ฒ์ด ์๋๋ผ ๋ฐํ ์จ์ดํผ์ ์์ ์๋ฆฌ๋ฅผ ๋ฐ๋ผ ์๊ธฐ ๋๋ฌธ์ ๋๋ค. ์์ต์คํธ๋ก ์ด ๊ณต๊ฐํ ๊ธฐ์ ์ค๋ช ๋ฌธ์ ใHow MOCVD worksใ์ ์ด ๊ณผ์ ์ด ์ ๋ฆฌ๋์ด ์์ต๋๋ค. ์ด ๋ฌธ์๋ฅผ ๋ฐํ์ผ๋ก ์ค๋ช ํ๊ฒ ์ต๋๋ค.
๊ณผ์ ์ ์ด๋ ์ต๋๋ค. ๋ฐ์๊ธฐ ์์ผ๋ก 3์กฑ ์์์ ์๋ฃ ๊ธฐ์ฒด์ 5์กฑ ์์์ ์๋ฃ ๊ธฐ์ฒด๋ฅผ ํจ๊ป ํ๋ ค ๋ณด๋ ๋๋ค. 3์กฑ ์์๋ ๊ฐ๋ฅจ, ์ธ๋, ์๋ฃจ๋ฏธ๋์ด๊ณ ์ ๊ธฐ ๋ถ์์ ์ค๋ ค ๋ค์ด๊ฐ๋๋ค. 5์กฑ ์์๋ ๋น์, ์ธ, ์ง์์ด๊ณ ์์์ ๊ฒฐํฉํ ๊ธฐ์ฒด๋ก ๋ค์ด๊ฐ๋๋ค. ์จ์ดํผ๋ฅผ ์ฌ๋ ค ๋ ๋ฐ์นจ๋๋ฅผ ๊ฐ์ดํ๋๋ฐ, ๋ฌธ์์ ๋ฐ๋ฅด๋ฉด ์จ๋๋ ์ต๋ ์ฝ 1,200๋์ ์ด๋ฆ ๋๋ค. ๋จ๊ฑฐ์ด ํ๋ฉด ๊ฐ๊น์ด์์ ๊ธฐ์ฒด ๋ถ์๊ฐ ๋ถํด๋๊ณ , ํ๋ ค๋ ์์๊ฐ ์จ์ดํผ ๊ฒฐ์ ์ ์๋ฆฌ๋ฅผ ๋ฐ๋ผ ํ ์์์ธต์ฉ ์์ต๋๋ค. ๋ฌผ๋ฆฌ์ ์ผ๋ก ์ฌ๋ฃ๋ฅผ ๋ ๋ ค ๋ถ์ด๋ ๋ฐฉ์์ด ์๋๋ผ, ํํ ๋ฐ์์ผ๋ก ๊ฒฐ์ ์ ์ด์ด์ ํค์ฐ๋ ๋ฐฉ์์ ๋๋ค.
์ธต์ ์ฑ์ง์ ํ๋ ค ๋ณด๋ด๋ ๊ธฐ์ฒด์ ์ข ๋ฅ์ ์์ผ๋ก ์ ํด์ง๋๋ค. ๊ธฐ์ฒด๋ฅผ ๋ฐ๊พธ๋ฉด ๊ทธ ์ธต์ ์ฌ๋ฃ ๋น์จ์ด ๋ฐ๋๊ณ , ํ๋ฆฌ๋ ์๊ฐ์ ๋ฐ๊พธ๋ฉด ๋๊ป๊ฐ ๋ฐ๋๋๋ค. ๋ฌธ์์ ๋ฐ๋ฅด๋ฉด ๋ง๋ค ์ ์๋ ์ธต์ ๋๊ป๋ ์์ ํ ์ธต๋ถํฐ ์์ฒ ๋๋ ธ๋ฏธํฐ๊น์ง์ด๋ฉฐ, ๋ฐ๊ด๋ค์ด์ค๋์์ ๊ฐ์ฅ ์์ ์ธต์ 1๋๋ ธ๋ฏธํฐ์๋ ๋ชป ๋ฏธ์นฉ๋๋ค. ์ ๊ธฐ๊ฐ ํ๋ฅด๋ ์ฑ์ง์ ๋ถ์๋ฌผ์ ์กฐ๊ธ ์์ด์ ์ ํฉ๋๋ค. ๊ท์๋ฅผ ์์ผ๋ฉด nํ(์ ์๊ฐ ๋จ์๋๋ ์ชฝ)์ด ๋๊ณ ๋ง๊ทธ๋ค์์ ์์ผ๋ฉด pํ(์ ์๊ฐ ๋น ์ง ๋น์๋ฆฌ๊ฐ ๋ง์ ์ชฝ)์ด ๋๋ฉฐ, ์ด ๋ถ์๋ฌผ๋ ๊ธฐ์ฒด ํ๋ฆ์ ์์ด ๋ฃ์ต๋๋ค.
์ด ์์ ์ธต์ด ๋ ์ด์ ์์ ์ ๊ฒฐ์ ์ ์ผ๊น์. ๋ ์ด์ ์์๋ ์์์ฐ๋ฌผ(์ ์๋ฅผ ์์ฃผ ์์ ์ธต ์์ ๊ฐ๋๋ ๊ตฌ์กฐ)์ด ์์ต๋๋ค. ์ ์๋ ์ด ์ข์ ์ธต์ ๊ฐํ๋ฉด ๊ฐ์ง ์ ์๋ ์๋์ง๊ฐ ์ธต์ ๋๊ป์ ์ฌ๋ฃ ๋น์จ์ ๋ฐ๋ผ ๋ฌ๋ผ์ง๊ณ , ๊ทธ ์๋์ง ์ฐจ์ด๊ฐ ๊ณง ๋น์ ํ์ฅ์ ์ ํฉ๋๋ค. ๊ทธ๋ฌ๋ ์์์ธต ์์ค์์ ๋๊ป์ ๋น์จ์ ๋ง์ถ๋ค๋ ๊ฒ์ ๊ณง ๋น์ ์๊ณผ ํจ์จ์ ๋ง์ถ๋ค๋ ๋ป์ ๋๋ค. ์ธ๋์ธ ๋ ์ด์ ๊ฐ ์ด๋ฐ ๊ตฌ์กฐ์ ํด๋นํ๊ณ , ์ธ๋์ธ์ ๊ดํต์ ์ ์ฐ์ด๋ ํ์ฅ๋์ ๋น์ ๋ด๋ ์ฌ๋ฃ์ ๋๋ค.
๊ทธ๋์ ์ฅ๋น์ ์น๋ถ์ฒ๋ ๊ท ์ผ๋์ ๋๋ค. ํ ์ฅ์ ์จ์ดํผ์์ ๋ ์ด์ ์๋ฐฑ, ์์ฒ ๊ฐ๊ฐ ๋์ค๋๋ฐ, ์จ์ดํผ์ ๊ฐ์ด๋ฐ์ ๊ฐ์ฅ์๋ฆฌ์์ ์ธต ๋๊ป๋ ์ฌ๋ฃ ๋น์จ์ด ๋ค๋ฅด๋ฉด ๊ฐ์ ์จ์ดํผ์์ ๋์จ ์นฉ์ ํ์ฅ๊ณผ ์ฑ๋ฅ์ด ์นฉ๋ง๋ค ๋ฌ๋ผ์ง๋๋ค. ์์ต์คํธ๋ก ๋ฌธ์๋ ๊ท ์ผ๋๋ฅผ ๋ง๋๋ ๋ฐ์๊ธฐ๋ฅผ ๋ ๊ฐ์ง๋ก ์ค๋ช ํฉ๋๋ค. ํ๋๋ ํ๋๋ํฐ๋ฆฌ ๋ฐ์๊ธฐ๋ก, ๊ธฐ์ฒด๊ฐ ์ฒ์ฅ ํ๊ฐ์ด๋ฐ ๋ ธ์ฆ๋ก ๋ค์ด์ ๊ฐ์ฅ์๋ฆฌ๋ฅผ ํฅํด ์ํ์ผ๋ก ๊ณฑ๊ฒ ํ๋ฅด๊ณ , ์จ์ดํผ๋ง๋ค ๋์ธ ํฌ์ผ์ด ์ฒ์ฒํ ๋๋ฉด์ ๊ณ ๋ฅด๊ฒ ์์ด๊ฒ ํฉ๋๋ค. ์ผ์ดํฌ ํ์ ์ฒ์ฒํ ๋๋ ค ๊ฐ๋ฉฐ ๊ตฝ๋ ๊ฒ๊ณผ ๊ฐ์ต๋๋ค. ๋ค๋ฅธ ํ๋๋ ํด๋ก์ฆ ์ปคํ๋ ์ค์ํค๋๋ก, ๊ฐ์ด๋ ์จ์ดํผ ๋ฐ๋ก ์ ์ฒ์ฅ์ ๋ซ๋ฆฐ ์์ ๊ตฌ๋ฉ๋ค๋ก ๊ธฐ์ฒด๋ฅผ ์์ง์ผ๋ก ๋ฟ๋ฆฝ๋๋ค.
๊ท ์ผ๋์ ์ ๋๋ฅผ ๋ณด์ฌ ์ฃผ๋ ๊ณต๊ฐ ์๋ฃ๊ฐ ์์ต๋๋ค. ์์ต์คํธ๋ก ์ฐ๊ตฌ์ง์ธ ํฌ๋ฆฌ์คํฐ์์ผ ๋ฑ์ด ์ด ๋ ผ๋ฌธ ใMOCVD materials for electronic and optoelectronic applicationsใ์์, 6์ธ์น ๊ฐ๋ฅจ๋น์ ์จ์ดํผ ์์ ํค์ด 2๋ง์ดํฌ๋ก๋ฏธํฐ ๋๊ป์ ์๋ฃจ๋ฏธ๋๊ฐ๋ฅจ๋น์ ์ธต์ ๋๊ป ๋ถ๊ท ์ผ์ ํ์คํธ์ฐจ๊ฐ 0.17%์๋ค๊ณ ๋ฐํ์ต๋๋ค. ๋ค๋ง ์ด๊ฒ์ ๊ฐ๋ฅจ๋น์ ์จ์ดํผ์์ ์ฐ ๊ฐ์ด์ด์ ์ธ๋์ธ ๋ ์ด์ ์ ๊ท ์ผ๋๋ก ๊ทธ๋๋ก ์ฝ์ ์๋ ์์ต๋๋ค.
์ด๋ฒ ์์ฃผ์ ์ง์ ์ด์ด์ง๋ ์ฅ๋น๋ G10-AsP์ ๋๋ค. 2026๋ 5์ 19์ผ ๋ณด๋์๋ฃ์ ๋ฐ๋ฅด๋ฉด ๋ฃจ๋ฉํ ์ด 800G ์ด์(๊ด ๋ชจ๋ ํ๋๊ฐ ์ด๋น 800๊ธฐ๊ฐ๋นํธ ์ด์์ ์ฃผ๊ณ ๋ฐ๋ ๋ฑ๊ธ)์ ์ํ ์ธ๋์ธ ๋ ์ด์ ์ ๊ฒ์ถ๊ธฐ์ ์์ฐ์ ๋๋ฆฌ๋ ค๊ณ ์ด ์ฅ๋น๋ฅผ ๋ณต์๋ก ์ฃผ๋ฌธํ์ต๋๋ค. ์ด ์ฅ๋น๋ 6์ธ์น ์ธ๋์ธ ์จ์ดํผ๋ฅผ ์ฒ๋ฆฌํฉ๋๋ค. ํ์ฌ๋ ์จ๋ ์ ์ด์ ๊ธฐ์ฒด ์ฃผ์ ๊ธฐ ์ค๊ณ๋ก ์จ์ดํผ ์์ ๊ท ์ผ๋๋ฅผ ํ๋ณดํ๊ณ , ์นด์ธํธ์์ ์นด์ธํธ๋ก ์จ์ดํผ๋ฅผ ์๋์ผ๋ก ์ฎ๊ธฐ๋ฉฐ, ์ฅ๋น ์์์ ์ค์ค๋ก ์ธ์ ํ๋ค๊ณ ์ค๋ช ํฉ๋๋ค. ์ด๊ฒ์ ํ์ฌ์ ์ค๋ช ์ ๋๋ค. ์จ์ดํผ๊ฐ ์ปค์ง์๋ก ์จ๋์ ๊ธฐ์ฒด ๋๋๋ฅผ ์ ์ฒด์ ๊ณ ๋ฅด๊ฒ ์ ์งํ๊ธฐ ์ด๋ ต๊ธฐ ๋๋ฌธ์, ํ์ฌ๊ฐ ๊ท ์ผ๋์ ์๋ํ๋ฅผ ์์ธ์ฐ๋ ๊ฒ์ผ๋ก ์ฝํ๋๋ค.
์์ ๋ค๋ฃฌ ๋ฃจ๋ฉํ ๊ธ์์๋ ๋ ์ด์ ์์ ์๊ธด ๊ฒฉ์๊ฐ ํ์ฅ์ ํ ๊ฐ์ผ๋ก ๊ณ ์ ํ๋ ๊ตฌ์กฐ๋ฅผ ์ง์์ต๋๋ค. ์ค๋์ ๊ทธ ๋ ์ด์ ์ ๊ฒฐ์ ์ ์์ ์ฌ๋ฆฌ๋ ์ฅ๋น ์ชฝ์ ๋ณธ ๊ฒ์ ๋๋ค. ๊ด์ ์ ์ฅ๋น ์์ฃผ๊ฐ 2๋ถ๊ธฐ ์ฅ๋น ์์ฃผ์ ์ฝ 75%๋ฅผ ์ฐจ์งํ๊ณ 6์ ๋ง ์์ฃผ์๊ณ ๊ฐ 4์ต 5,690๋ง ์ ๋ก๊น์ง ์์ธ ๊ฒ์, ์ธ๋์ธ ๋ ์ด์ ๊ฒฐ์ ์ ๋๋์ผ๋ก ํค์ธ ๋ฐ์๊ธฐ๋ฅผ ์ฐพ๋ ๊ณ ๊ฐ์ด ๋๊ณ ์๋ค๋ ์ ํธ์ ๋๋ค.
์ฒซ์งธ ์ํ์ ๋งค์ถ์ด ์์ง ์ค๊ณ ์๋ค๋ ์ ์ ๋๋ค. 2๋ถ๊ธฐ ๋งค์ถ์ 16%, ์๋ฐ๊ธฐ ๋งค์ถ์ 30% ์ค์๊ณ , ์๋ฐ๊ธฐ ์์ ์ด์ต์ ์ ์์ ๋๋ค. ํ์ฌ๋ ์๋ฐ๊ธฐ๋ฅผ ์ ํ์ ์ด๋ผ๊ณ ๋ถ๋ฅด์ง๋ง, ๊ทธ ๋ง์ด ๋ง์ผ๋ ค๋ฉด ํ๋ฐ๊ธฐ์ ์ฝ 3์ต 8,500๋ง ์ ๋ก์ ๋งค์ถ์ ์ฌ๋ ค์ผ ํฉ๋๋ค. ์ฐ๊ฐ ๋ชฉํ 5์ต 6,000๋ง ์ ๋ก์์ ์๋ฐ๊ธฐ 1์ต 7,450๋ง ์ ๋ก๋ฅผ ๋นผ๋ฉด 3์ต 8,500๋ง ์ ๋ก ์ํ์ด ๋จ์ต๋๋ค. ๋ชฉํ์ 3๋ถ์ 2 ์ด์์ด ํ๋ฐ๊ธฐ์ ๋ชฐ๋ ค ์์ต๋๋ค. 3๋ถ๊ธฐ ๋ชฉํ๋ 1์ต 8,000๋ง ์ ๋ก์์ ์์๋ 2,000๋ง ์ ๋ก์ด๊ณ , 4๋ถ๊ธฐ๋ ์ฝ 2์ต ์ ๋ก๋ก ์ ํด์ก์ต๋๋ค. ๋ํ ๋ ์ด์ ์ฅ๋น์ ์ถํ๊ฐ 3๋ถ๊ธฐ๋ถํฐ ์์ํ๋ค๋ ํ์ฌ ์ ๋ง์ด ์ผ์ ๋๋ก ์ด๋ฃจ์ด์ ธ์ผ ํฉ๋๋ค. ์ฅ๋น ์ถํ๊ฐ ํ๋ ๋ถ๊ธฐ๋ง ๋ฐ๋ ค๋ ๋งค์ถ์ด ๋ชฉํ ๊ตฌ๊ฐ์ ๋ชป ๋ฏธ์น ์ ์์ต๋๋ค. ์ฅ๋ถ์ ์์ธ ์์ฃผ๊ฐ ๋งค์ถ์ด ๋๋ ค๋ฉด ์ค์ ๋ก ์ฅ๋น๋ฅผ ๋ง๋ค์ด ๋ณด๋ด์ผ ํ๊ธฐ ๋๋ฌธ์ ๋๋ค.
๋์งธ ์ํ์ ์ ๋ ฅ๋ฐ๋์ฒด ๋ถ์ง์ ๋๋ค. ์ด ํ์ฌ ์ฅ๋น๋ ๊ด์ ์ ๋ง๊ณ ๋ ์ ๋ ฅ๋ฐ๋์ฒด์ ๋ฐ๊ด๋ค์ด์ค๋ ์ชฝ์ ํ๋ฆฝ๋๋ค. ๋ฐ๋์ฒด ์ ๋ฌธ ๋งค์ฒด๊ฐ ์ ๋ฆฌํ ์๋ฐ๊ธฐ ์ฅ๋น ๋งค์ถ ๋น์ค์ ๋ณด๋ฉด ๋ณํ๊ฐ ๊ทน์ ์ ๋๋ค. ์ ๋ ฅ๋ฐ๋์ฒด์ฉ ์ฅ๋น์ ๋น์ค์ ์ ๋ ์๋ฐ๊ธฐ 71%์์ ์ฌํด 22%๋ก ์ค์์ต๋๋ค. ์ด ๊ฐ์ด๋ฐ ํํ๊ท์ ์ฅ๋น๋ 45%์์ 6%๋ก, ์งํ๊ฐ๋ฅจ ์ฅ๋น๋ 26%์์ 16%๋ก ๋ด๋ ค๊ฐ์ต๋๋ค. ๋ฐ๋๋ก ๊ด์ ์์ฉ ์ฅ๋น๋ 9%์์ 54%๋ก ์ปค์ก์ต๋๋ค. ๋ณด๋์๋ฃ๋ ์ ๋ ฅ๋ฐ๋์ฒด์ ๋ง์ดํฌ๋ก ๋ฐ๊ด๋ค์ด์ค๋ ๋ฐ ๋ฐ๊ด๋ค์ด์ค๋์ ์์๋ ์ฝํ ์ํ์ด๊ณ ์ฅ๋น ๊ฐ๋๋ฅ ์ด ์ ์ง์ ์ผ๋ก ์ค๋ฅด๊ณ ์๋ค๊ณ ๋ฐํ์ต๋๋ค. ํํ๊ท์์ ์งํ๊ฐ๋ฅจ์ ์ ๊ธฐ์ฐจ์ ์ถฉ์ ๊ธฐ, ์ ์์ฅ์น์ ์ฐ์ด๋ ์ ๋ ฅ๋ฐ๋์ฒด์ ์ฌ๋ฃ์ ๋๋ค. ์ด์ชฝ ์์๊ฐ ๋์ด์๋์ง ์๋ ๋์, ํ์ฌ์ ํ ํด ๋งค์ถ์ ๊ด์ ์ ํ ๋ถ์ผ์ ํฌ๊ฒ ๊ธฐ๋๊ฒ ๋ฉ๋๋ค. ์ธ๊ณต์ง๋ฅ ๋ฐ์ดํฐ์ผํฐ์ ํฌ์ ์๋๊ฐ ๋๋ ค์ง๋ฉด ์์ฃผ ํ๋ฆ๋ ํจ๊ป ํ๋ค๋ฆด ์ ์์ต๋๋ค.
์ ์งธ๋ ์ฌ๋ฌด ๊ตฌ์กฐ์ ๋ณํ์ ๋๋ค. ํ์ฌ๋ 4์์ 4์ต 5,000๋ง ์ ๋ก ๊ท๋ชจ์ ์ ํ์ฌ์ฑ(์ ํด์ง ์กฐ๊ฑด์์ ์ฃผ์์ผ๋ก ๋ฐ๊ฟ ์ ์๋ ํ์ฌ์ฑ)๋ฅผ ๋ฐํํ๊ณ , ๋ณด๋์๋ฃ์ ๋ฐ๋ฅด๋ฉด ์๊ธฐ์๋ณธ๋น์จ์ด 88%์์ 61%๋ก ๋ฎ์์ก์ต๋๋ค. ๋ ๋ฐ๋์ฒด ์ ๋ฌธ ๋งค์ฒด์ ๋ฐ๋ฅด๋ฉด ์ฌํด ์ค๋นํฌ์๋ ์ฐ๊ฐ ์ฝ 5,500๋ง ์ ๋ก์ด๊ณ ๊ทธ ์ฝ 3๋ถ์ 2์ธ 4,000๋ง ์ ๋ก๊ฐ ๋ง๋ ์ด์์ ํ๋ญ์ ์ ๊ณต์ฅ์ ๋ค์ด๊ฐ๋๋ค. ์ฒซ ์ฅ๋น ์ถํ ๋ชฉํ๋ 2027๋ ๋ง์ ๋๋ค. ์ด๊ฒ์ ์์ฃผ๊ฐ ๋์ด๋ ์์ ์ ์์ฐ ๋ฅ๋ ฅ์ ๋ฏธ๋ฆฌ ํค์ฐ๋ ํฌ์๋ก ๋ณผ ์๋ ์์ต๋๋ค. ๋ค๋ง ๋งค์ถ์ด ์ค์ด๋ ๊ตฌ๊ฐ์ ํฌ์์ ์๊ธ ์กฐ๋ฌ์ด ํจ๊ป ์งํ๋๊ณ ์๋ค๋ ์ฌ์ค์ ์์ ๋์ ์ผ ํฉ๋๋ค.
๋ง์ง๋ง์ผ๋ก ์ฝ๋ ๋ถ๋ค์ด ์ฃผ์ํ์ค ์ ์ด ์์ต๋๋ค. ์ด ๊ธ์ ์ซ์๋ 2๋ถ๊ธฐ ๋ณด๋์๋ฃ์ ๋งค์ฒด ๊ธฐ์ฌ๋ฅผ ๋์กฐํ ๊ฒ์ด๋ฏ๋ก, ํ์ฌ๊ฐ ์ ์ค์ ์ ๋ฐํํ๋ฉด ๊ณผ๊ฑฐ ์๋ฃ๊ฐ ๋ฉ๋๋ค. ํ์ฌ์ ๊ฐ์ด๋์ค๋ ํ์ฌ์ ์ ๋ง์ผ ๋ฟ ๋ณด์ฅ์ด ์๋๋ผ๋ ์ ๋ ๊ธฐ์ตํด ์ฃผ์๊ธฐ ๋ฐ๋๋๋ค.
์์ต์คํธ๋ก ์ ์์ฃผ๊ฐ 81% ๋์ด ์ฅ๋ถ๋ ๋๋ํด์ก์ง๋ง ๋งค์ถ์ ์์ง 16% ์ค์ด๋ ํ์ฌ์ ๋๋ค. ๊ทธ ์ผ๊ฐ์ ์ค์ฌ์๋ ๋จ๊ฑฐ์ด ์จ์ดํผ ์์์ ๊ธฐ์ฒด๋ฅผ ๋ฐ์์์ผ ์์์ธต ๋จ์๋ก ๊ฒฐ์ ์ ์๋ MOCVD ์ํผํ์ ์ฅ๋น๊ฐ ์๊ณ , ์น๋ถ์ฒ๋ ์ธต์ ๋๊ป์ ์ฌ๋ฃ ๋น์จ์ ์จ์ดํผ ์ ์ฒด์์ ๊ณ ๋ฅด๊ฒ ๋ง์ถ๋ ๊ท ์ผ๋์ ๋๋ค. ํํธ ์ ๋ ฅ๋ฐ๋์ฒด ์ฅ๋น์ ๋ถ์ง๊ณผ ํ๋ฐ๊ธฐ์ ๋ชฐ๋ฆฐ ๋งค์ถ ๋ชฉํ๋ ์ง์ผ๋ณผ ๋๋ชฉ์ ๋๋ค. ์ด ๊ธ์ ๊ณต์์ ๊ธฐ์ ๋ฌธ์๋ฅผ ์ฝ๊ณ ์ ๋ฆฌํ ํ์ต ๊ธฐ๋ก์ด๋ฉฐ ํ๋ฆฐ ๋ถ๋ถ์ด ์์ ์ ์์ต๋๋ค. ์ฃผ์์ ์ฌ๊ณ ํ๋ ์ ํ๊ณผ ๊ทธ์ ๋ฐ๋ฅธ ์์ต์ ์ ์ ์ผ๋ก ๋ ์๋ ๋ณธ์ธ์ด ๊ฐ๋นํ์ ์ผ ํฉ๋๋ค.